花崗石平臺的檢測方法
花崗石平臺檢測手段有三種:
一種是借助精度為0.5μm的電子水平儀,用位移法可檢測花崗石平臺的直線度,用次方法可檢測花崗石平臺的平面度,將檢測的結果經過算法換算,可得到花崗石平臺的直線度和平面度的具體數值;其特點是精度不太高,但測量數據可靠,無“0”點漂移問題,特別適合于在線測量與檢測花崗石平臺。
另一種測量花崗石平臺直線度的方法可以通過精度為0.1μm的電容測微儀用位移法測量,其表頭的示值即為花崗石平臺的直線度的誤差值;在此測量中,由于電感測微儀自身的“0”點漂移較嚴重,需經過長達24h的穩定后,其數值才可信,故使得花崗石平臺加工與測量間的銜接時間增長。
更高精度花崗石平臺的加工有更高精度的檢測手段,目前常采用HP5528A或HP5529A動態校準儀,它的顯示精度為1nm,可檢測平面度、垂直度、直線度、時基即振動、角位移測量、對角測量等等。動態校準儀的檢測精度特別高,但由于其復雜的光學系統和復雜的調試程序,尤其是光具返回光束的光強和保證在80以上,否則光束將被擋住,這對花崗石平臺調試者來說調試較困難,調試時間較長,調試方法不容易掌握。同時其要求花崗石平臺的測量環境較高。